集成電路、半導(dǎo)體這類工業(yè)生產(chǎn)車間之所以建設(shè)為無塵車間是為了滿足半導(dǎo)體制造工藝需求的潔凈生產(chǎn)環(huán)境，無塵車間對(duì)環(huán)境潔凈度、溫濕度、振動(dòng)、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相對(duì)于其他工業(yè)潔凈室，集成電路制造無塵車間有面積大、潔凈等級(jí)高、溫濕度控制精度高等特點(diǎn)。業(yè)內(nèi)習(xí)慣將電子、集成電路、半導(dǎo)體等電子元件生產(chǎn)的無塵車間也稱為超凈間。在超凈間的應(yīng)用領(lǐng)域，半導(dǎo)體算是工業(yè)超凈間大佬級(jí)別的存在了。>>>商務(wù)洽談，點(diǎn)此處，在線咨詢
超凈間半導(dǎo)體超凈間的建設(shè)專業(yè)度高且程序復(fù)雜，要打造真正意義上滿足標(biāo)準(zhǔn)且適合工藝流程的超凈間包含多種專業(yè)維度的建設(shè)內(nèi)容。譬如：建筑構(gòu)造、內(nèi)部平面、工藝布置、裝飾裝修、人員和物料凈化、暖通系統(tǒng)建設(shè)、自控系統(tǒng)建設(shè)、通排風(fēng)系統(tǒng)建設(shè)、氣體供應(yīng)系統(tǒng)建設(shè)、管網(wǎng)建設(shè)等。這些內(nèi)容每一個(gè)維度都關(guān)系著該車間目標(biāo)控制標(biāo)準(zhǔn)的達(dá)成。那么有人就會(huì)問了，這么多內(nèi)容那得找多少不同技術(shù)領(lǐng)域的團(tuán)隊(duì)來建設(shè)，在銜接管理上豈不是相當(dāng)麻煩。沒錯(cuò)，半導(dǎo)體超凈間涉及的技術(shù)領(lǐng)域多，如果甲方一個(gè)類別一個(gè)類別去尋找、對(duì)接、篩選分包商，確實(shí)是耗時(shí)又耗力。這個(gè)時(shí)候，選擇與潔凈工程領(lǐng)域的EPC集成服務(wù)商合作，這些問題就可以迎刃而解了。
CEIDI西遞這類潔凈工程EPC（工程總承包）集成服務(wù)商通常會(huì)承擔(dān)從潔凈工程的整體規(guī)劃開始，到內(nèi)部平面設(shè)計(jì)、各類技術(shù)方案、施工建設(shè)及過程監(jiān)控、實(shí)驗(yàn)家具及內(nèi)部配套工程一體化的集成服務(wù)整體解決方案。
因?yàn)殡娮庸I(yè)超凈間【集成電路/半導(dǎo)體超凈間】建設(shè)環(huán)節(jié)較為復(fù)雜，我們摘出在半導(dǎo)體超凈間建設(shè)環(huán)節(jié)中，暖通系統(tǒng)和氣體供應(yīng)系統(tǒng)的建設(shè)相關(guān)內(nèi)容加以概述。
半導(dǎo)體超凈間暖通系統(tǒng)設(shè)計(jì)要點(diǎn)：
1.半導(dǎo)體超凈間多以萬級(jí)（局部百級(jí)）為設(shè)計(jì)目的。要達(dá)到這樣的標(biāo)準(zhǔn)，就必須選擇高效或亞高效過濾器(潔凈級(jí)別低時(shí))作為終端過濾器，對(duì)進(jìn)入無塵車間的空氣，進(jìn)行一級(jí)過濾。為保護(hù)終端過濾器和延長(zhǎng)其壽命，必須使空氣先經(jīng)中效過濾器進(jìn)行過濾。
2.除了考慮潔凈的空氣送風(fēng)外，還要考慮合理的氣流分布流型。譬如在工作區(qū)應(yīng)避免渦流區(qū)就一個(gè)盡量使送入房間的潔凈度高的空氣直接到達(dá)工作區(qū);氣流的流動(dòng)有利于潔凈室內(nèi)的微粒從回風(fēng)口排走。
3.要根據(jù)無塵車間的規(guī)格大小來選擇合適的送風(fēng)設(shè)備，達(dá)到足夠的送風(fēng)量，以達(dá)到可以稀釋空氣的含塵濃度，又能保證有穩(wěn)定氣流流型的目的。
半導(dǎo)體超凈間供氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)要點(diǎn)：
在工藝技術(shù)較為先進(jìn)的半導(dǎo)體晶圓工廠的制造過程中，工藝步驟達(dá)幾百道，前后要使用幾十種不同種類的氣體。CEIDI西遞在設(shè)計(jì)電子工業(yè)超凈間【集成電路/半導(dǎo)體超凈間】過程中會(huì)依據(jù)行業(yè)特色和自身經(jīng)驗(yàn)判斷用哪種供氣方式更適合。譬如晶圓半導(dǎo)體超凈車間，會(huì)推薦采用外購(gòu)氣體鋼瓶或鋼瓶組來輸送供氣，有易燃性氣體、毒性氣體、腐蝕性氣體、惰性氣體、氧化性氣體組成的多種類特種氣體需求的，選擇這種方式會(huì)節(jié)省投資，且擁有使用方式靈活的優(yōu)點(diǎn)，電耗及制氣成本相對(duì)也比較低廉。缺點(diǎn)是在氣體輸送的過程中氣體比較容易受到污染，對(duì)后期就整個(gè)供應(yīng)系統(tǒng)的管理和維護(hù)要求較高。不過這對(duì)合作方是CEIDI西遞這類總包服務(wù)商來說，基本上后續(xù)維護(hù)質(zhì)量等問題無需擔(dān)憂。
在半導(dǎo)體、集成電路這類電子工業(yè)超凈間建設(shè)過程中，因?yàn)楣に噺?fù)雜對(duì)環(huán)境要求高。要在一定空間內(nèi)清除空氣中的顆粒物、有害空氣、細(xì)菌等污染物，控制室內(nèi)溫度、清潔度、室內(nèi)壓力、氣流速度和氣流分布，將噪聲振動(dòng)和照明、靜電控制在一定需求范圍內(nèi)，需要平面設(shè)計(jì)師和各技術(shù)段工程師非常精密的計(jì)算與合作，EPC集成服務(wù)商的集成服務(wù)優(yōu)勢(shì)在這里可以比較明顯的體現(xiàn)出來。CEIDI西遞的設(shè)計(jì)團(tuán)隊(duì)、技術(shù)團(tuán)隊(duì)和項(xiàng)目施工團(tuán)隊(duì)已經(jīng)過多年磨合，對(duì)工程建設(shè)的理念和進(jìn)度配合都達(dá)成比較一致的思維，往往能在保質(zhì)保量地完成工程建設(shè)的同時(shí)，將節(jié)能與實(shí)用性做充分的融合。
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